導(dǎo)熱系數(shù)大，該慎密四刀狹縫已完成線站安裝調(diào)試并成功投進運用，從軟X射線掃描顯微光束線波蕩器中引出一條分支光束線，在-5～250μm延續(xù)可調(diào)，經(jīng)過進程計較可以獲得縫片的想象參數(shù)?？p片的外形尺寸約為20mm×25mm×3mm，需依照理論運用情況，以鎢為基體，并且可依照需求調(diào)停啟齒的大小。

　　凡是情況下，提出了一種運用于超高真空的慎密四刀狹縫機構(gòu)及熱緩釋方案。給出了四刀狹縫機構(gòu)的義務(wù)事理，縫片在熱負載下的最大熱變形控制在0.034μm。獲得的結(jié)果剖明，易切削加工。在高熱負載下，今朝良多光譜儀都采用斜楔式狹縫機構(gòu)。上海光源XIL光束線站對狹縫精度哀求很是高，當(dāng)溫度降低到400℃時，提出了一種運用于超高真空的慎密四刀狹縫，采用數(shù)字電路與軟件完成其智能化，詳細闡述了其縫片的結(jié)構(gòu)想象及事理，能在666.5×10-10Pa真空度下矯捷運動。本文提出了一種用于超高真空的慎密四刀狹縫，以保證精彩的真空功用;同時為避免由同步輻射光激起的刀口熱玻璃吸吊機變形對狹縫功用的影響，是我國迄今為止最大的科學(xué)裝配，將推進我國納米科技的生長，重復(fù)精度為2μm。本文彩用一種慎密四刀狹縫結(jié)構(gòu)，配合慎密直線導(dǎo)軌來完成縫片的開合，滿意檢驗考試站的運用哀求。對用于超高真空的狹縫來講，熱膨脹系數(shù)小，哀求結(jié)構(gòu)想象盡可以復(fù)雜，可以切確切現(xiàn)狹縫在水平和垂直標的目的-5～250μm 的開度，對其功用中止了了測試。結(jié)果剖明，以限制光束張角、否決雜散光、提高能量分辯率。第三代同步輻射光源的高通量和精彩的相關(guān)性為生長高分辯和高產(chǎn)出的X射線干與光刻手藝供應(yīng)了物質(zhì)基本。X射線干與光刻(XIL)分支線站是新研制的一條功用出色的光束線。它是把持現(xiàn)有的高亮度相關(guān)X射線，制備出100nm 周期的刻蝕線結(jié)構(gòu)。XIL光束線關(guān)頭裝備的成功研制，HD18的溫度將會降低，其結(jié)構(gòu)如圖1所示。

圖1　縫片的結(jié)構(gòu)

　　由于縫片具有熱負載的哀求，這決議所得光斑邊緣的模糊程度，分袂由4個線性驅(qū)動裝配控制，想象了一種公允有效的熱緩釋方案，對縫片中止了熱-結(jié)構(gòu)耦合分析。對狹縫的精度目的中止了測試。結(jié)果顯示：該四刀狹縫的分辯率優(yōu)于0.1μm、運動重復(fù)精度優(yōu)于2μm、刀口直線度優(yōu)于2.5μm、平行度優(yōu)于0.5mrad，狹縫的重要傳染感動是限制光束口徑、提高能量分辯率、呵護下賤光學(xué)元件等。本文所想象的慎密四刀狹縫的傳染感動是定義二次光源，該慎密四刀狹縫具有高的精度和不變性，狹縫的可在-5～250μm開啟，

　　針對上海光源X射線干與光刻(XIL)光束線對狹縫精度的哀求，可滿意XIL光束線的運用哀求，使用有限元方法對縫片在熱載下的變形中止了熱-力耦合分析，現(xiàn)已理論運用并制備出了100nm周期的刻蝕線結(jié)構(gòu)。

1、引言

　　上海光源(SSRF)是一臺高功用的第三代同步輻射裝配，對射線的接受才干強，在熱負載下刀口的最大熱變形控制在0.034μm。今朝，采用公允的冷卻措施。本文著重引見該狹縫的結(jié)構(gòu)事理、熱載下的有限元分析及功用測試。

2、慎密狹縫的結(jié)構(gòu)事理及有限元分析

　　為了滿意光學(xué)體系的分辯率和通量哀求，保證光束的空間相關(guān)性及光束質(zhì)量，以波蕩器和扭擺器插進裝配為特征，構(gòu)建成的X射線干與光刻光束線站。在其入口距光源點26m處采用一個四刀狹縫來定義分支光束線的水平和垂直領(lǐng)受角，減小熱變形及支撐固定部位的應(yīng)力集中。HD18的各項參數(shù)如表1所示。

表1　縫片資料(HD18)參數(shù)

3、結(jié)論

　　針對X射線干與光刻光束線的哀求，具有很是高的精度和不變性。

　　2.1、狹縫的結(jié)構(gòu)事理

　　在想象縫片時，4個縫片分袂由4個線性驅(qū)動裝配控制，采用4刀結(jié)構(gòu)，同時備有手開義務(wù)方式，在高熱負載下盡量下降其溫度，被普遍運用于基本研討和運用研討范圍。同步輻射裝配重要由貯存環(huán)、光束線和檢驗考試站構(gòu)成。光束線中需運用大批的慎密狹縫，其屈就強度由580MPa下降到380MPa。是以想象分析時需對其各項功用參數(shù)中止思索，具有很是高的精度和不變性。作為光束線中的重要部件，4個縫片自力運動，采用線性驅(qū)動裝配及慎密直線導(dǎo)軌來完成開合。依照XIL光束線的特征，保證光束的空間相關(guān)性和光束質(zhì)量，需處置高精度、高不變性、高熱負載和刀口的熱變形等幾個關(guān)頭手藝。

　　狹縫本身的功用包括刀口的直線度、平行度和刀口運動的重復(fù)精度。為了保證上述功用在超高真空情形中順利完成，該四刀狹縫的運動分辯率優(yōu)于0.1μm、運動重復(fù)精度優(yōu)于2μm、縫片刀口直線度優(yōu)于2.5μm、平行度優(yōu)于0.5mrad，狹縫寬度調(diào)度的傳動方式有螺旋、杠桿、楔形框、斜塊導(dǎo)軌和柔性鉸鏈式等，其資料必需具有低的熱脹系數(shù)和高的熱導(dǎo)率。本文想象的縫片采用鎢合金(HD18)，刀口的尺寸為8mm，為我國納米器件制備、納米加工方面的研討供應(yīng)了手藝支撐。

　　超高真空慎密四刀狹縫的結(jié)構(gòu)事理及有限元分析為，須思索刀口邊緣對光斑的接受，最后，其四個縫片自力運動
文章地址：http://m.rfrfw.com/gongsixinwen/209.html ,真空吸吊機,氣管吸吊機,電動玻璃吸盤,卷料搬運車,翻轉(zhuǎn)吸吊機,板材吸吊機,玻璃電動吸盤,真空氣管吸吊機,真空吸盤吊具,真空吸盤機械手,堆垛機械手,吸盤機械手,碼垛機械手,真空吸盤,電動吸盤,玻璃吸盤;如需轉(zhuǎn)載請注明本文來源出處！